时间(min) 电流效率(%) 平均沉积速率(µm/min)
1(不加软启动) 36.68 2.48
3(不加软启动) 35.69 2.41
5(10s软启动) 36.64 2.47
10(10s软启动) 34.49 2.33
15(10s软启动) 33.60 2.27
20(10s软启动) 34.47 2.33
30(10s软启动) 32.96 2.22
40(10s软启动) 30.50 2.06
软启动:在设定的时间内,逐渐升高电流到设定值。
慧聪表面处理网 www.pf.hc360.com 1 1