Page 42 - 2019表面处理年鉴
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市场综述
MARKET SUMMARY
材料合成的钢盘，不仅要满足自动化操作的纳米级精密 氧化铈新材料的超精密抛光生产试验效果一举赶超了国
度，更要具备精确的热膨胀系数。 外传统材料，填补了该领域空白。
但是这并不意味着我国已经攀登到了这一领域的顶
峰，对于整体工艺来说，只有抛光液而没有超精密抛光
机，我们最多还只是卖材料的。
抛光工艺需要满足目前电子工业制造的要求，可以
概括为超精密、大尺寸。有了顶级的抛光材料仅仅是基
础，以此为基础，我国还需要分两步走，首先解决磨盘
问题，其次解决抛光面积扩大问题。
目前，美国、日本抛光机磨盘的材料构成和制作工
艺一直是个谜。换言之，购买和使用他们的产品，并不
代表可以仿制甚至复制他们的产品，这是两回事。
当抛光机处在高速运转状态时，如果热膨胀作用导 用什么材料和工艺才能合成这种热膨胀率低、耐磨
致磨盘的热变形，基片的平面度和平行度就无法保证。 度高、研磨面超精密的磨盘，是我们首先需要集中力量
而这种不能被允许发生的热变形误差不是几毫米或几微 攻克的技术难题，这个问题一旦解决，60英寸抛光作业
米，而是几纳米。 面也将不再是梦想。而这样的核心技术，永远不能指望
目前，美国日本等国际顶级的抛光工艺已经可以满 从别人手中获得，除了依靠自己，我们别无选择。
足60英寸基片原材料的精密抛光要求(属超大尺寸)，他
们据此掌控着超精密抛光工艺的核心技术，牢牢把握了 超精密加工技术将向超精密制造技术发展
全球市场的主动权。而事实上，把握住这项技术，也就 退一步讲，即使我们掌握了超精密抛光技术，我
在很大程度上掌控了电子制造业的发展。 们并没有达到机械加工的最终点。因为，超精密加工技
日本产抛光机的研磨盘均为定制，不进行批量生 术还包括超精密车削、镜面磨削、超精密研磨、机械化
产，直接限制了他国仿制；美国的抛光设备销往中国， 学抛光、电子束曝射、激光束加工、离子溅射和离子注
价格一般都在1000万元以上，而且销售订单已经排至 入、金属蒸镀及分子束外延等。
2019年年底，此前不接受任何订单。 超精密加工技术以前往往是用在零件的最终工序或
面对如此严密的技术封锁，在超精密抛光领域，我 者某几个工序中，但目前一些领域中某些零部件整个制
国几乎目前只能进行自研。 造过程或整个产品的研制过程都要用到超精密技术，包
括超精密加工、超精密装配调试以及超精密检测等，最
中国的超精密抛光技术水平在哪个层次? 典型的例子就是美国国家点火装置(NIF)。
作为一套技术要求极高的合成工艺，超精密化学机 所以，还是回归到我们的文章的开头，只有原点，
械抛光工艺精必须由设备和材料(抛光液)组成，二者缺 没有终点，我们距离超精密制造技术的最前沿还有一定
一不可。我们国家研发的“二氧化铈微球粒度标准物质 的距离。为了追求市场份额和利润，技术的领头羊们会
及其制备技术”已经具有成效，相关纳米级粒度标准物 一直改进提高，做到更精，我们处于落后的地位，落后
质获得国家计量器具许可和国家一级标准物质证书。二 就要挨打，所以更需要想尽一些办法去赶超。
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